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1、粒子束轰击到样品原子上时会产生一定的背向散射，包括弹性背散射（即卢瑟福背散射，RBS）以及非弹性散射（即非卢瑟福散射），较常用的是前者。RBS宜于分析低序元素基体中的较重元素，而且能得到被测元素的深度分布信息。非弹性散射宜于分析样品中低序元素，如有机质和地质样品中常见的H、C、N、O、Na等。微束NBS适用于分析简单基体中微量元素的二维分布，以及样品所含低序元素的分布。

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